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MFM330 氣體質量流量計結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統、高精度比例閥和控制系統。

MFC330-05S 氣體質量流量控制器結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統、高精度比例閥和控制系統。

MFC330-05E 氣體質量流量控制器結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統、高精度比例閥和控制系統。

MFC300-03D 氣體質量流量控制器采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

MFC300-03A 氣體質量流量控制器采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

ESMFM-650 皂膜氣體流量標準裝置，采用高靈敏度紅外光電管采樣、精密電路控制、微電腦處理、觸摸屏操控及顯示、多通道測量，顯示直觀、操控方便、數據準確、測量范圍大并可保存多達10W 條以上黑歷史測量數據。該儀器廣泛用于小氣體流量的測量及泄漏率的檢測。高配置款內置4 路高精度、高控制穩定性的氣體質量流量控制器（MFC），為測量提供高精度、高穩定性的氣體輸出，使測量更加精度、便捷。