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產(chǎn)品中心流量計(jì)氣體質(zhì)量流量控制器MFC330微小氣體流量質(zhì)量控制器
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
產(chǎn)品分類
主要參數(shù) SENSOR AND CONTROL PERFORMANCE | |
介質(zhì)要求 Applicable media | 潔凈干燥氣體 Clean, dry gases |
氣體種類 Gas type | 98+氣體可選 Available for 98+ types of gas |
量程 Full Scale（N2 equivalent） | 0-2, 10, 20, 50, 100, 300, 500 sccm；0-1, 2, 5, 10, 20, 30 slpm |
測(cè)量范圍measurement range | 0.5%F.S. (1:200) |
控制范圍 Control range | 1% - 10 0% F.S. (1:100) |
準(zhǔn)確度 Accuracy | 標(biāo)準(zhǔn) Standard：±1% F.S. 高精度High Performance：±0.5% |
重復(fù)精度Repeatability | ±0.2% F.S. |
線性度Linearity | ±0.2% F.S. |
控制響應(yīng)時(shí)間 Settling time (in control) | <3秒 |
預(yù)熱時(shí)間 Warm-up time | 5 min (T95), 30分鐘 30min for optimum accuracy |
閥門Valve function | 常閉式 Normally Closed |
泄露率 Leak integrity | 1*10-8 Pa·m3/sec He |
機(jī)械特性 MECHANICAL | |
工作壓力 Maximum pressure | 3 MPa (30bar） |
工作壓差范圍 Operating differential pressure | 0 ~ 1 MPa |
工作溫度范圍Operating temperature range | -20 ~ 65℃ (環(huán)境和氣體 ambient and gas) |
濕度范圍 Relative humidity range | 0 ~ 98% 無凝露 No-condensing |
氣路接頭類型Process connections | 卡套,、VCR、快插、快擰 (可選) (Push-in fitting, Push-on fitting, Compression fitting, VCR optional) |
氣體接觸材質(zhì)Material | 氟橡膠、304/316不銹鋼 (FKM, 300-series Stainless steel) |
密封材質(zhì)Seals | 氟橡膠 FKM |
防護(hù)等級(jí) Ingress protection (housing) | IP40 |
安裝方式 Mounting | 水平安裝方向校準(zhǔn) Calibrated in horizontal mounting orientation |
固定孔 Mounting holes |
|
重量 Weight | 0.96 kg |
電氣和通訊 COMMUNICATIONS | |
電氣連接接口類型Electrical connection | DB – 9公頭 (Male) |
模擬信號(hào) Analog input and output options | 0 – 5 VDC, 4 – 20 mA （可定制） |
輸入輸出阻抗 Impedance resistance | 輸入阻抗>10MΩ,輸出阻抗<1KΩ |
模擬數(shù)據(jù)更新頻率Analog data update rate | 200Hz |
數(shù)字信號(hào) Digital input and output options | Modbu RTU (RS232, RS485), CAN |
通信速率 Digital data update rate | 9600(默認(rèn)), 14400, 19200, 38400, 56000, 57600, 115200 bps（用戶可修改） |
電源 Power requirements | 15 – 40 VDC,<200mA |
顯示更新頻率Display update rate | 50Hz |
模擬信號(hào)精度 Analog signal accuracy | ±0.05%F.S. |
特征 FRATURE | |
標(biāo)況 STP reference conditions | 20℃， 1 atm |
氣體選擇Gas Select | 可選，具體參考說明書氣體系數(shù) |
軟件Software | Aitoly分階流量軟件 |
尺寸 DIMENSIONS | Weight | ||||||||
Full scale flow | Height | Width | Depth | A | B | C | D | E | 重 量 |
2 sccm~30 slpm | 125.00 mm | 76.00 mm | 32.00 mm | 64.00 mm | 17.80 mm | 7.00 mm | 6.00 mm |
| ≈0.96 kg |
4.921 in | 2.992 in | 1.260 in | 2.520 in | 0.701 in | 0.276 in | 0.236 in |
| ≈2.1 lb | |
100slpm-500slpm | 138mm | 82mm | 38mm | 62.mm | 30mm | 4mm | 10mm |
| 1.3kg |
5.43in | 3.22 | 1.496 | 2.220 | 1.181 | 0.157 | 0.393 |
| 2.88lb | |
·微小氣體流量質(zhì)量控制器MFC330系列使用毛細(xì)管柱傳感器，其傳感器、比例閥等核心器件均為自主研發(fā)，具有穩(wěn)定性高、抗腐
蝕、高精度、高重復(fù)性等特點(diǎn)。
·MFC300微小氣體流量質(zhì)量控制器系列使用MEMS傳感器原理，該系列產(chǎn)品具有響應(yīng)速度快、無需預(yù)熱、精確度高等特點(diǎn);·另有皂膜氣體流量標(biāo)準(zhǔn)裝置，應(yīng)用及第三方檢定單位。
·Aitoly 氣體質(zhì)量流量計(jì)廣泛應(yīng)用于科研院所、半導(dǎo)體、光伏、真空鍍膜、分析儀器、生物工藝和生物反應(yīng)、環(huán)境保護(hù)、石化、食品、工業(yè)自動(dòng)化及等等。
愛拓利具有高水平的產(chǎn)品設(shè)計(jì)、結(jié)構(gòu)、硬件和軟件研發(fā)水平， 擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的氣體質(zhì)量流量計(jì)及控制器核心部件（高精度氣體質(zhì)量流量傳感器和高穩(wěn)定性微型比例閥、全金屬密封比例閥）及生產(chǎn)設(shè)備，是國內(nèi)少數(shù)能夠全面自主研發(fā)生產(chǎn)高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)和氣體質(zhì)量流量控制器的企業(yè)之一。“以關(guān)鍵技術(shù)自主研發(fā)為核心使命、以市場(chǎng)為導(dǎo)向"，愛拓利致力于為用戶提供精準(zhǔn)、穩(wěn)定、可靠的標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品、定制化服務(wù)和解決方案。
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