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產品簡介
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MFM330氣體流量計的特點
產品特點
精準質量流量測量/控制
快速響應、高重復性
不受溫度和壓力的影響
低壓損可選
集成顯示器可選
經濟有效的解決方案
主要參數
介質要求 潔凈干燥氣體
氣體種類 98+氣體可選
量程 10，20，50，100，300，500 sccm
0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm
測量范圍 0.5%-100% F.S.
準確度 ±0.5% F.S.
重復精度 ±0.2%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
分辨率 0.001 sccm（<10L/min），1sccm（10-50L/min）
傳感器響應時間 <1s
預熱時間 5 min（T95），30 分鐘最佳
機械特性
最大工作壓力 3 MPa（30bar）
工作壓差范圍 0-1 MPa
工作溫度范圍 -20~65℃（環境和氣體）
濕度范圍 0 ~ 98%無凝露
氣路接頭類型 快插、快擰、卡套、VCR（可選）
氣體接觸材質 氟橡膠、316不銹鋼
密封材質 氟橡膠 FKM
防護等級 IP40
安裝方式 水平安裝方向校準
固定孔 M4 ? 5mm
重量 0.82kg
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服務電話：
18168878188
蘇州市吳江區柳胥路99號半導體智能制造創新港
sales@aitoly.com
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